|
|||||
|
|
| 低气压辉光放电溅射的放电形式 | |
| 引用本文： | 李学丹,倪逸民,邱爱叶.低气压辉光放电溅射的放电形式[J].真空科学与技术学报,1986(6). |
| 作者姓名： | 李学丹 倪逸民 邱爱叶 |
| 作者单位： | 浙江大学 (李学丹，倪逸民)，浙江大学(邱爱叶) |
| 摘 要： | 冷阴极气体放电的伏安特性如图1所示。通常所谓的辉光放电是指正常辉光放电(EF)和异常辉光放电(FG),二者除在伏安特性上有区别外,它们的阴极位降区的宽度也不同。前者不随电流而变,后者随电流的增加而减小,如图2所示(图中下标n、an分别表示正常辉光放电和异常辉光放电)。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
