| 离子束辅助沉积入射角对FexCr1-x合金薄膜微结构及磁性的影响 |
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| 引用本文： | 谷宇,曾飞,耿魁伟,潘峰. 离子束辅助沉积入射角对FexCr1-x合金薄膜微结构及磁性的影响[J]. 真空科学与技术学报, 2006, 26(Z1): 64-66 |
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| 作者姓名： | 谷宇 曾飞 耿魁伟 潘峰 |
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| 作者单位： | 清华大学材料系先进材料实验室,北京,100084 |
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| 摘 要： | 运用离子束辅助沉积技术在不同的离子束入射角(0°,15°,30°,45°,60°,75°)下,制备了的FexCr1-x合金薄膜(x=50,67),并对其微结构和磁性进行了研究.在两组不同成分的薄膜中,均发现仅在入射角为45°时,垂直于膜面的方向上出现了(002)择优取向,且伴随着膜面的平面磁各向异性,而在其他角度的情况下,无择优取向及平面磁各向异性获得.根据择优取向的形成机制,斜入射的离子束在沉积过程中起到了混合及沟道效应的作用.
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| 关 键 词： | FexCt1-x合金薄膜 离子束辅助沉积 入射角 择优取向 磁各向异性 |
| 文章编号： | 1672-7126(2006)增-0064-03 |
| 修稿时间： | 2005-09-01 |
Influence of Ion Incident Angle on Microstructures and Magnetic Properties of FexCr1-x Ahoy Films |
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| Gu Yu,Zeng Fei,Geng Kuiwei,Pan Feng. Influence of Ion Incident Angle on Microstructures and Magnetic Properties of FexCr1-x Ahoy Films[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2006, 26(Z1): 64-66 |
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| Authors: | Gu Yu Zeng Fei Geng Kuiwei Pan Feng |
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