半导体激光器的真空键合

本文讨论了真空键合对键合质量的影响,对实验中观察到的真空脱气效应进行了分析,论述了影响真空键合成品率的因素,在此基础上设计了一种性能优良的真空键合装置。研究结果表明,真空键合具有非常广泛的应用前景,是提高半导体激光器寿命和可靠性的有效方法。