| 高温压力传感器现状与展望 |
| |
| 引用本文： | 张为,姚素英,张生才,刘艳艳,曲宏伟.高温压力传感器现状与展望[J].仪表技术与传感器,2002(4):6-8. |
| |
| 作者姓名： | 张为 姚素英 张生才 刘艳艳 曲宏伟 |
| |
| 作者单位： | 天津大学电子信息工程学院,天津市,300072 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 (基金号 :698760 2 7) |
| |
| 摘 要： | 论述了多晶硅、SOI（绝缘体上硅）、碳化硅、SOS（蓝宝石上硅）、石英、溅射合金薄膜、陶瓷厚膜和光等高温压力传感器的基本结构、工作原理、特点及研究现状，展望了压力传感器的未来。
|
| 关 键 词： | 高温压力传感器 多晶硅 SOI 碳化硅 石英晶体 |
| 修稿时间： | 2001年10月24 |
Status Quo of High - Temperature Pressure Sensor and Its Prospect |
| |
| Zhang Wei Yao Suying Zhang Shengcai Liu Yanyan Qu HongweiSchool of Electronics and Information Engineering,Tianjin University,Tianjin.Status Quo of High - Temperature Pressure Sensor and Its Prospect[J].Instrument Technique and Sensor,2002(4):6-8. |
| |
| Authors: | Zhang Wei Yao Suying Zhang Shengcai Liu Yanyan Qu HongweiSchool of Electronics and Information Engineering Tianjin University Tianjin |
| |
| Affiliation: | Zhang Wei Yao Suying Zhang Shengcai Liu Yanyan Qu HongweiSchool of Electronics and Information Engineering,Tianjin University,Tianjin 300072 |
| |
| Abstract: | Discusses the structure,principle,performance and research status quo of polysilicon,silicon on insulator,silicon on sapphire,quartz,alloy thin-film,ceramic thick-film,optic-fiber high-temperature pressure sensor respectively,and forecasts the future of the pressure sensor. |
| |
| Keywords: | Pressure Sensor High-Temperature Status Quo Prospect |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
