| MOCVD反应室的计算机辅助设计 |
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| 引用本文： | 陈维友 杨丽颍. MOCVD反应室的计算机辅助设计[J]. 固体电子学研究与进展, 1999, 19(2): 231-238 |
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| 作者姓名： | 陈维友 杨丽颍 |
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| 作者单位： | 吉林大学电子工程系 |
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| 摘 要： | 给出了ＭＯＣＶＤ反应室流体力学的模拟方法，介绍一个ＭＯＣＶＤ反应室设计软件。该软件通过模拟反应室内的气流分布、压力分布和温度分布情况，可用来检验现有反应室结构的合理性及设计新型反应室结构。作为分析实例，对入口区扩散气流对整个反应室气流分布的影响作了简单讨论。
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| 关 键 词： | 金属有机物化学汽相淀积反应室 流体力学 计算机辅助设计 |
TheComputeraideddesignforMOCVDReactors |
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| ChenWeiyouYangLiyingZhangYejinCaoXiaoguangWangAijunLiuShiyong. TheComputeraideddesignforMOCVDReactors[J]. Research & Progress of Solid State Electronics, 1999, 19(2): 231-238 |
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| Authors: | ChenWeiyouYangLiyingZhangYejinCaoXiaoguangWangAijunLiuShiyong |
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| Abstract: | BasedonthetransporttheoryofMOCVDreactor,asimulatingsoftwareispresentedinthispaperforthedesignofMOCVDreactors.Thissoftwareissuitableforthetestofcurrentreactorsandthedevelopmentofnewreactors.Asaexample,theeffectoftheflowatentranceontheflowdistributioninreactorisdiscussed. |
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| Keywords: | MOCVDReactorTransportTheoryCAD |
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