| 微机电系统的研究及未来 |
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| 引用本文： | 杨宜民,林汉荣. 微机电系统的研究及未来[J]. 广东工业大学学报, 1993, 0(3) |
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| 作者姓名： | 杨宜民 林汉荣 |
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| 作者单位： | 广东工学院电气工程系，广东工学院电气工程系 |
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| 摘 要： | 本文综述微机电系统(MEMS)的研究背景、含义、意义、现状及应用前景,并提出我国发展MEMS研究的策略.
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| 关 键 词： | 微机电系统 微驱动器 微机器人 微动系统 |
MEMS Study and Future |
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| Yang Yimin Lin Hanrong. MEMS Study and Future[J]. Journal of Guangdong University of Technology, 1993, 0(3) |
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| Authors: | Yang Yimin Lin Hanrong |
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| Affiliation: | Dept. of Electric Engineering |
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| Abstract: | This paper sumarizes background, definition, sense, present condition and application of MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) study, and presentes tactics of developing MEMS study in our country. |
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| Keywords: | MEMS micro actuator micro robot micro displacement systms. |
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