| 新型圆光栅测角误差补偿方法及其应用 |
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| 引用本文： | 于连栋,鲍文慧,赵会宁,贾华坤,张润.新型圆光栅测角误差补偿方法及其应用[J].光学精密工程,2019,27(8). |
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| 作者姓名： | 于连栋 鲍文慧 赵会宁 贾华坤 张润 |
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| 作者单位： | 合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院,安徽 合肥,230009;合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院,安徽 合肥,230009;合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院,安徽 合肥,230009;合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院,安徽 合肥,230009;合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院,安徽 合肥,230009 |
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| 基金项目： | 国家重大科学仪器设备开发专项;111计划项目;国家自然科学基金资助项目;国家自然基金青年基金资助项目 |
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| 摘 要： | 在实际工业应用中,环境温度变化是便携关节式坐标测量机中旋转轴系测角精度的主要误差源。为了消除环境温度对旋转轴系测角精度的影响,本文提出了一种新型圆光栅测角误差补偿方法,即建立含有环境温度影响因子的圆光栅测角误差补偿模型。利用谐波方法建立在特定温度下的圆光栅测角误差补偿模型,利用多项式方法建立谐波系数与环境温度之间的函数关系。最后,以14℃下的实验数据为验证数据,分别代入到传统谐波误差补偿模型和本文提出的模型中。实验结果表明,相对于传统谐波误差补偿模型,使用本文提出的模型补偿后圆光栅的测角精度提高4倍左右,修正后的残差峰峰值在2″以内,能够有效地补偿10～40℃下圆光栅的测角误差。
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| 关 键 词： | 精密测量 圆光栅测角 测角误差 谐波补偿 多项式 |
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