微加工中皮秒~飞秒脉冲比较 |
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引用本文: | 范品忠.微加工中皮秒~飞秒脉冲比较[J].激光与光电子学进展,2002,39(2):46-46. |
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作者姓名: | 范品忠 |
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作者单位: |
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摘 要: | 材料加工,主要是微加工中的许多应用正促进高重复率飞秒激光的研制。从物理学角度看,这种加工能定义为薄表面层材料的激光烧蚀,与周围物质没有明显的热交换。在金属中激光脉冲通常被电子吸收。在几皮秒时间内这些电子将它们的能量传输给晶格。在非金属(例如半导体和电介质)中,光电离和级联电离是初始激光脉冲吸收过程,其后的过程与金属情况相似。在紫外光辐照情况下,材料的烧蚀及其后转变成等离子体能在比蒸发温度低的温度下发生。当热量没从吸收区消散时,快速等离子体产生和薄层中的烧蚀是可能的。如果激光脉宽比热扩散时间短就会…
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关 键 词: | 微加工 激光烧蚀 高重复率飞秒激光 皮秒脉冲激光器 飞秒脉冲激光器 |
收稿时间: | 2001/4/28 |
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