| 碲锌镉衬底晶面极性对水平液相外延碲镉汞薄膜的影响 |
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| 引用本文： | 霍勤,张诚,焦翠灵,王仍,毛诚铭,陆液,乔辉,李向阳.碲锌镉衬底晶面极性对水平液相外延碲镉汞薄膜的影响[J].红外与毫米波学报,2023,42(1):1-7. |
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| 作者姓名： | 霍勤 张诚 焦翠灵 王仍 毛诚铭 陆液 乔辉 李向阳 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海技术物理研究所 红外成像材料与器件重点实验室， 上海 200083,中国科学院上海技术物理研究所 红外成像材料与器件重点实验室， 上海 200083,中国科学院上海技术物理研究所 红外成像材料与器件重点实验室， 上海 200083,中国科学院上海技术物理研究所 红外成像材料与器件重点实验室， 上海 200083,中国科学院上海技术物理研究所 红外成像材料与器件重点实验室， 上海 200083,中国科学院上海技术物理研究所 红外成像材料与器件重点实验室， 上海 200083,中国科学院上海技术物理研究所 红外成像材料与器件重点实验室， 上海 200083,中国科学院上海技术物理研究所 红外成像材料与器件重点实验室， 上海 200083 |
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| 基金项目： | 国家重点研发计划（2018YFB0504700）；上海市青年科技英才扬帆计划（19YF1454800） |
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| 摘 要： | 研究了碲锌镉衬底（111）晶面的不同极性对水平推舟液相外延生长碲镉汞薄膜的影响。实验结果显示，（111）A面碲锌镉衬底水平液相外延生长碲镉汞薄膜材料组分和厚度均与常规（111）B面碲锌镉衬底碲镉汞薄膜材料相当；碲镉汞母液在采用（111）A面、（111）B面衬底进行液相外延生长的碲镉汞薄膜上接触角分别为（50±2）°和（30±2）°，结合微观模型分析确认碲镉汞母液在碲镉汞薄膜（111）A面存在更大的表面张力；观察并讨论了（111）A面碲镉汞与（111）B面碲镉汞薄膜材料表面微观形貌的差别；实验获得的（111）A面碲镉汞薄膜XRD半峰宽为33.1arcsec。首次报道了（111）晶面选择对母液残留的影响，研究结果表明，采用（111）A面碲锌镉衬底进行碲镉汞水平推舟液相外延生长，能够在不降低晶体质量的情况下，大幅减小薄膜表面母液残留。
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| 关 键 词： | Hg1-xCdxTe晶体 CdZnTe衬底 液相外延 (111)A面 (111)B面 |
| 收稿时间： | 2022/3/17 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2023/1/10 0:00:00 |
Effect of polarity of CdZnTe substrate on slider liquid phase epitaxy of HgCdTe |
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| HUO Qin,ZHANG Cheng,JIAO Cui-Ling,WANG Reng,MAO Cheng-Ming,LU Ye,QIAO Hui and LI Xiang-Yang.Effect of polarity of CdZnTe substrate on slider liquid phase epitaxy of HgCdTe[J].Journal of Infrared and Millimeter Waves,2023,42(1):1-7. |
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| Authors: | HUO Qin ZHANG Cheng JIAO Cui-Ling WANG Reng MAO Cheng-Ming LU Ye QIAO Hui and LI Xiang-Yang |
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