| 基于混合优化算法测定铝薄膜光学常数 |
| |
| 引用本文： | 金伟华,金春水,张立超,朱宏力,刘磊. 基于混合优化算法测定铝薄膜光学常数[J]. 光学精密工程, 2008, 16(9) |
| |
| 作者姓名： | 金伟华 金春水 张立超 朱宏力 刘磊 |
| |
| 作者单位： | 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,吉林,长春,130033;中国科学院,研究生院,北京,100083;中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,吉林,长春,130033 |
| |
| 摘 要： | 提出了一种离线精确测定金属铝薄膜光学常数的方法.与传统的原位测量方法相比,这种方法简便,不需要连接到真空室的复杂测量设备上.该方法以测量椭偏光谱曲线和分光光谱曲线为目标,考虑金属铝薄膜在空气中表面氧化的影响,在混合优化算法的基础上,使用基于色散关系的多波长法拟合确定金属铝薄膜从紫外到可见区(200～800nm)的光学常数;优化算法采用多种群并行遗传算法和单纯形法相结合的方式,提高了拟合质量和速度,得到了理想的结果,光谱曲线拟合误差＜2%.在确定了铝光学常数的基础上,镀制了单腔紫外诱导透射滤光片,测量的透过率光谱与设计结果在265nm处的峰值透过率偏差＜1%.
|
| 关 键 词： | 铝薄膜 光学常数 椭偏光谱 遗传算法 单纯形法 |
Determination of optical constants for aluminum thin film based on combined optimal algorism |
| |
| JIN Wei-hua,JIN Chun-shui,ZHANG Li-Chao,ZHU Hong-li,LIU Lei. Determination of optical constants for aluminum thin film based on combined optimal algorism[J]. Optics and Precision Engineering, 2008, 16(9) |
| |
| Authors: | JIN Wei-hua JIN Chun-shui ZHANG Li-Chao ZHU Hong-li LIU Lei |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
