| 基于AFM的微结构加工实验研究 |
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| 引用本文： | 闫永达,孙涛,程凯,赵清亮,董申. 基于AFM的微结构加工实验研究[J]. 电子显微学报, 2003, 22(3): 199-201 |
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| 作者姓名： | 闫永达 孙涛 程凯 赵清亮 董申 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学精密工程研究所,黑龙江,哈尔滨,150001 |
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| 基金项目： | 航天支撑技术基金项目和海外青年合作研究基金资助 (No .5 0 0 2 85 0 4) |
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| 摘 要： | 本文建立了微动工作台和原子力显微镜相结合的微加工系统，在该系统上采用金刚石针尖进行微加工实验，与SPI系统本身的刻划软件刻划出的图形进行了比较分析，得出这个系统适合微结构的加工；并给出了采用该方法加工的1111面及多边形面微结构；还分析了金刚石针尖几何角度及SPM和工作台的相关参数对加工的影响。
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| 关 键 词： | 原子力显微镜 微结构加工 AFM 金刚石针尖 SPI系统 形貌观测 单原子操作 |
| 文章编号： | 1000-6281(2003)03-0199-03 |
Experimental research of micro-structure machining basing on AFM |
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| YAN Yong da,SUN Tao,CHENG Kai,ZHAO Qing liang,DONG Shen+. Experimental research of micro-structure machining basing on AFM[J]. Journal of Chinese Electron Microscopy Society, 2003, 22(3): 199-201 |
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| Authors: | YAN Yong da SUN Tao CHENG Kai ZHAO Qing liang DONG Shen+ |
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| Affiliation: | YAN Yong da,SUN Tao,CHENG Kai,ZHAO Qing liang,DONG Shen+* |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | AFM micro structure diamond tip |
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