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| 化学气相沉积技术的研究与应用进展 | |
| 作者姓名： | 杨西 杨玉华 |
| 作者单位： | 兰州交通大学化学与生物工程学院,甘肃兰州730070 |
| 摘 要： | 论述了化学气相沉积（CVD）技术的基本原理、特点和最新发展起来的具有广泛应用前景的几种CYD新技术，同时分析了化学气相沉积技术的发展趋势，并展望其应用前景。 |
| 关 键 词： | 化学气相沉积 应用 发展 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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