| 二维MEMS风速风向传感器的设计与测试 |
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| 引用本文： | 沈广平,吴剑,张骅,秦明,黄庆安.二维MEMS风速风向传感器的设计与测试[J].微纳电子技术,2007,44(7):285-287. |
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| 作者姓名： | 沈广平 吴剑 张骅 秦明 黄庆安 |
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| 作者单位： | 东南大学,MEMS教育部重点实验室,南京,210096 |
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| 摘 要： | 给出一种基于MEMS工艺的二维风速风向传感器的设计、制造以及测试结果。该传感器加热电阻采用圆形结构，四个测温电阻对称分布在芯片四周。传感器芯片在玻璃衬底上采用两步MEMS剥离工艺加工，加工工艺简单可靠。该传感器采用恒功率工作方式，利用热温差原理测量风速和风向。经过风洞测试，传感器可以完成360°风向检测，误差不超过10°。
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| 关 键 词： | 二维风速传感器 风向传感器 剥离工艺 热温差原理 |
| 文章编号： | 1671-4776（2007）07/08-0285-03 |
| 修稿时间： | 2007-04-30 |
Design and Test of 2-D MEMS Wind Speed and Direction Sensor |
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| SHEN Guang-ping,WU Jian,ZHANG Hua,QIN Ming,HUANG Qing-an.Design and Test of 2-D MEMS Wind Speed and Direction Sensor[J].Micronanoelectronic Technology,2007,44(7):285-287. |
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| Authors: | SHEN Guang-ping WU Jian ZHANG Hua QIN Ming HUANG Qing-an |
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| Affiliation: | Key Laboratory of MEMS of the Ministry of Education, Southeast University, Nanjing 210096,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | 2-D thermal flow sensor wind direction sensor lift-off process calorimetric flow sensor |
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