| 微机械双杯平面复合差动电容压力传感器的研究 |
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| 引用本文： | 牛德芳,沈月婷,庞济,仲崇权,Yin Fuliang.微机械双杯平面复合差动电容压力传感器的研究[J].仪表技术与传感器,2001(1):4-5,20. |
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| 作者姓名： | 牛德芳 沈月婷 庞济 仲崇权 Yin Fuliang |
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| 作者单位： | 1. 殷福亮大连理工大学电子信息工程学院辽宁省大连市 116024
2. Dept. of Elec. Info. Engin, DaLian Univercity of Technology, Dalian Liaoning 116024 |
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| 基金项目： | 科技攻关项目：国家“九五”重点科技攻关项目(96-748-02-0l/10) |
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| 摘 要： | 文中介绍一种新式微机械双杯平面复合差动电容压力传感器的结构设计、工作原理及加工工艺，同时，对传感器的硬件电路、软件设计也作简要说明，并通过实验测试结果反映其结构的新颖性和设计的合理可行性。
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| 关 键 词： | 双杯 平面复合 差动电容 压力传感器 微机械 结构设计 |
A Study on Micromechanical Double Cups-Planar Compound Differential Capacitive Pressure Sensor |
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| Niu Defang,Shen Yueting,Pang Ji,Zhong Chongquan,Yin Fuliang.A Study on Micromechanical Double Cups-Planar Compound Differential Capacitive Pressure Sensor[J].Instrument Technique and Sensor,2001(1):4-5,20. |
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| Authors: | Niu Defang Shen Yueting Pang Ji Zhong Chongquan Yin Fuliang |
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| Affiliation: | Niu Defang\ Shen Yueting\ Pang Ji\ Zhong Chongquan\ Yin Fuliang Dept.of Elec. Info.Engin,DaLian Univercity of Technology,Dalian Liaoning 116024 |
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| Abstract: | The structure, principle and processing techniques are presented in this paper. The design of hardware and software are also described in brief. The experimental data reflect emergent noverlty and feasibility of the whole design. |
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| Keywords: | Double Cup Planar Compound Differential Capacitive Sensor |
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