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| 基于STM的纳米测试技术及其在机械领域中的应用 | |
| 引用本文： | 张振宇,李鸿琦,周红秀. 基于STM的纳米测试技术及其在机械领域中的应用[J]. 制造技术与机床, 2004, 0(8): 40-42 |
| 作者姓名： | 张振宇 李鸿琦 周红秀 |
| 作者单位： | 1. 天津大学机械学院力学系,天津,300072 2. 天津大学燃烧学国家重点实验室 |
| 摘 要： | STM是一种具有纳米级分辨率的精密显微镜.文章简述了STM的基本原理和扫描模式,并总结了国内外将STM应用于机械领域的研究工作,最后对其发展进行了展望. |
| 关 键 词： | STM MEMS MST 机械 精密工程 表面工程 |
| 修稿时间： | 2004-03-03 |
Nano- measurement Technology Based on STM and its Application in the Mechanical Field |
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