| 微细加工技术与应用 |
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| 引用本文： | 孙燕华,沈明南.微细加工技术与应用[J].机械制造与自动化,2005,34(6):64-66. |
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| 作者姓名： | 孙燕华 沈明南 |
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| 作者单位： | 无锡职业技术学院,江苏,无锡,214121;无锡职业技术学院,江苏,无锡,214121 |
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| 摘 要： | 微细加工技术是现代机电领域新兴学科微机电系统（MEMS）研究的关键技术之一。分析了近年来微机械领域的主要微细加工方法、能达到的加工尺度与水平、加工范畴及应用；阐述了微细加工技术的发展趋势。
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| 关 键 词： | 微机电系统 微细机加工 微细电加工 LIGA技术 |
| 文章编号： | 1671-5276（2005）06-0064-03 |
| 收稿时间： | 2005-10-14 |
| 修稿时间： | 2005-10-14 |
Investigation and Application on Micro-machining |
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| SUN Yan-hua,SHEN Ming-nan.Investigation and Application on Micro-machining[J].Machine Building & Automation,2005,34(6):64-66. |
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| Authors: | SUN Yan-hua SHEN Ming-nan |
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| Affiliation: | Wuxi Institute of Technology,JS Wuxi 214121, China |
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| Abstract: | The micro-machining technology is one of the key technologies in emerging micro electro mechanical system(MEMS)in modern mechtronical domain,this paper analyzes the main micro-machining processes,precision and level which could achieve and application in recent years.It also introduces micro-machining technology development tendency. |
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| Keywords: | MEMS micro-machining EDM micro elements LIGA technology |
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