| 酞菁钯-聚苯胺修饰声表面波传感器及含磷毒气的检测 |
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| 引用本文： | 施云芬,施云波,孙墨杰,冯侨华.酞菁钯-聚苯胺修饰声表面波传感器及含磷毒气的检测[J].半导体学报,2008,29(5):998-1002. |
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| 作者姓名： | 施云芬 施云波 孙墨杰 冯侨华 |
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| 作者单位： | 东北电力大学化学工程学院，吉林 132012;哈尔滨理工大学测量技术与通信工程学院，哈尔滨 150080;东北电力大学化学工程学院，吉林 132012;哈尔滨理工大学测量技术与通信工程学院，哈尔滨 150080 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 针对含磷毒气快速检测问题,以自制的杂化酞菁钯.聚苯胺为敏感膜材料,设计了一种双信道声表面波(SAW)传感器.阐述了传感器的基本原理,推导出以有机膜作为信道中间介质时,差频输出△f由物理化学吸附两种机制叠加的数学模型.依据声波振荡条件,设计了146±5MHz振荡频率的信号采集电路;以钽酸锂晶体为压电基片,通过MEMS微加工技术形成叉指电极对和加热膜;以真空镀膜工艺将敏感膜材料成膜,修饰在SAW信道中间区域构成SAW传感器.测试结果表明:最优气敏性时的材料配比为PdPc0.35PANI0.65;芯片加热60～80℃可提高性能,响应时间≤30s;输出与测试气体浓度与数学模型一致,为线性变化率-110kHz(mg/m3)的N型线性关系;抗汽油、CO2等气体干扰;80天稳定性考核,△f≤±0.1kHz,满足实际使用要求.
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| 关 键 词： | 酞菁钯.聚苯胺杂化 SAW传感器 含磷毒气 |
| 文章编号： | 0253-4177(2008)05-0998-05 |
| 收稿时间： | 12/9/2007 1:04:38 PM |
| 修稿时间： | 1/14/2008 9:32:12 AM |
A PdPc-PANI Modified SAW Sensor and Phosphorous-Containing Toxic Gas Detection |
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| Shi Yunfen,Shi Yunbo,Sun Mojie and Feng Qiaohua.A PdPc-PANI Modified SAW Sensor and Phosphorous-Containing Toxic Gas Detection[J].Chinese Journal of Semiconductors,2008,29(5):998-1002. |
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| Authors: | Shi Yunfen Shi Yunbo Sun Mojie and Feng Qiaohua |
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| Affiliation: | School of Chemical Engineering,Northeast Dianli University,Jilin 132012, China;College of Measure-Control Technology & Communication Engineering,Harbin University of Science and Technology,Harbin 150080,China;School of Chemical Engineering,Northeast Dianli University,Jilin 132012, China;College of Measure-Control Technology & Communication Engineering,Harbin University of Science and Technology,Harbin 150080,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | PdPc-PANI hybrid SAW sensor phosphorus-containing toxic gas |
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