触针式精密表面粗糙度及轮廓测量仪

本文介绍了一种名为Nanostep的触针式精密表面測量仪器,它具有极高的热稳定性,动态測量范围为50nm～50mm。文中讨论了仪器的噪声、直线性、轮廓及起測点重复性。