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幕墙玻璃工业化生产的若干问题
引用本文:张随新,茅昕辉.幕墙玻璃工业化生产的若干问题[J].真空,1995(4):19-22.
作者姓名:张随新  茅昕辉
作者单位:东南大学薄膜研究所
摘    要:本文对比介绍了三类磁控溅射幕墙玻璃生产设备.指出幕墙玻璃膜层的不均匀性分为纵向与横向两个问题,二者都与磁控溅射镀膜室的内部结构密切相关.在幕墙玻璃工业化生产的组织管理中,原片及清洗质量、环境卫生、返油现象,成品监测是决定产品质量的关键。

关 键 词:幕墙玻璃,磁控溅射,膜层均匀性,质量控制
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