| 128x128元InAs/GaSb II类超晶格红外焦平面探测器 |
| |
| 引用本文： | 许佳佳,金巨鹏,徐庆庆,徐志成,靳川,周易,陈洪雷,林春,陈建新,何 力. 128x128元InAs/GaSb II类超晶格红外焦平面探测器[J]. 红外与毫米波学报, 2012, 31(6): 501-504 |
| |
| 作者姓名： | 许佳佳 金巨鹏 徐庆庆 徐志成 靳川 周易 陈洪雷 林春 陈建新 何 力 |
| |
| 作者单位： | 中国科学院上海技术物理研究所 红外成像材料与器件重点实验室,中国科学院上海技术物理所 红外成像材料与器件重点实验室,中国科学院上海技术物理研究所 红外成像材料与器件重点实验室,中国科学院上海技术物理研究所 红外成像材料与器件重点实验室,中国科学院上海技术物理研究所 红外成像材料与器件重点实验室,中国科学院上海技术物理研究所 红外成像材料与器件重点实验室,中国科学院上海技术物理研究所 红外成像材料与器件重点实验室,中国科学院上海技术物理研究所 红外成像材料与器件重点实验室,中国科学院上海技术物理研究所 红外成像材料与器件重点实验室,中国科学院上海技术物理研究所 红外成像材料与器件重点实验室 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(61176082)~~ |
| |
| 摘 要： | 报道了128×128元InAs/GaSb Ⅱ类超晶格红外焦平面阵列探测器的研究成果.实验采用分子束外延技术在GaSb衬底上生长超晶格材料.红外吸收区结构为13 ML(InAs)/9 ML(GaSb),器件采用PIN结构,焦平面阵列光敏元大小为40μm×40μm.通过台面形成、侧边钝化和金属电极生长,以及与读出电路互连等工艺,得到了128×128面阵长波焦平面探测器.在77 K时测试,器件的100%截止波长为8μm,峰值探测率6.0×109cmHz1/2W-1.经红外焦平面成像测试,探测器可得到较为清晰的成像.
|
| 关 键 词： | 长波红外探测器 InAs/GaSb Ⅱ类超晶格 焦平面阵列 |
| 收稿时间： | 2012-07-11 |
| 修稿时间： | 2012-09-27 |
128x128 infrared focal plane arrays based on Type-II InAs/GaSb superlattice |
| |
| XU Jia-Ji,JIN Ju-Peng,XU Qing-Qing,XU Zhi-Cheng,JIN Chuan,ZHOU Yi,CHEN Hong-Lei,LIN Chun,CHEN Jian-Xin and HE Li. 128x128 infrared focal plane arrays based on Type-II InAs/GaSb superlattice[J]. Journal of Infrared and Millimeter Waves, 2012, 31(6): 501-504 |
| |
| Authors: | XU Jia-Ji JIN Ju-Peng XU Qing-Qing XU Zhi-Cheng JIN Chuan ZHOU Yi CHEN Hong-Lei LIN Chun CHEN Jian-Xin HE Li |
| |
| Affiliation: | Key Laboratory of Infrared Imaging Materials and Detectors, Shanghai Institute of Technical Physics, Chinese Academy of Sciences,Key Laboratory of Infrared Imaging Materials and Detectors, Shanghai Institute of Technical Physics, Chinese Academy of Sciences,Key Laboratory of Infrared Imaging Materials and Detectors, Shanghai Institute of Technical Physics, Chinese Academy of Sciences,Key Laboratory of Infrared Imaging Materials and Detectors, Shanghai Institute of Technical Physics, Chinese Academy of Sciences,Key Laboratory of Infrared Imaging Materials and Detectors, Shanghai Institute of Technical Physics, Chinese Academy of Sciences,Key Laboratory of Infrared Imaging Materials and Detectors, Shanghai Institute of Technical Physics, Chinese Academy of Sciences,Key Laboratory of Infrared Imaging Materials and Detectors, Shanghai Institute of Technical Physics, Chinese Academy of Sciences,Key Laboratory of Infrared Imaging Materials and Detectors, Shanghai Institute of Technical Physics, Chinese Academy of Sciences,Key Laboratory of Infrared Imaging Materials and Detectors, Shanghai Institute of Technical Physics, Chinese Academy of Sciences,Key Laboratory of Infrared Imaging Materials and Detectors, Shanghai Institute of Technical Physics, Chinese Academy of Sciences |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | long-wave infrared detector InAs/GaSb superlattice focal planes array, |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《红外与毫米波学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《红外与毫米波学报》下载全文 |
|
