离子束混合条件下Fe—Dy多层膜的非晶化 |
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引用本文: | 李胜利,王佩璇.离子束混合条件下Fe—Dy多层膜的非晶化[J].中国稀土学报,1994,12(1):91-93. |
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作者姓名: | 李胜利 王佩璇 |
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摘 要: | 在超高真空(10^-7Pa)条件下用双源蒸镀法在单晶Si和NaCl衬底上制备了一系列Fe,Dy原子配比的成分调制多层膜。用卢瑟福背散射(RBS)和俄歇能谱(AES)分析成分沿厚度的分布,并用掠入射X射线衍射分析(XRD)离子束混合前后的结构。结果表明,随Ar^+离子剂量的增加混合量增加,在10^17Ar^+/cm^2达到均匀混合,同时混合还诱发非晶化,平均成分约为Fe60Dy40的多晶膜完全转变为
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关 键 词: | 多层膜 离子束混合 非晶化 铁 镝 |
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