| 基于HHT的微晶玻璃超光滑表面抛光 |
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| 引用本文： | 杨志甫,杨辉,李成贵,刘档,房建国.基于HHT的微晶玻璃超光滑表面抛光[J].光学精密工程,2008,16(1). |
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| 作者姓名： | 杨志甫 杨辉 李成贵 刘档 房建国 |
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| 作者单位： | 1. 北京航空精密机械研究所,精密制造技术航空科技重点实验室,北京,100076
2. 北京航空航天大学,仪器科学与光电工程学院,北京,100083 |
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| 摘 要： | 针对激光陀螺反射镜常用材料微晶玻璃的加工技术,介绍了一种较为成熟的超光滑表面加工方法-定偏心浸液式抛光.分析了微晶玻璃的性能和微观结构,得出实现其超光滑表面加工所必须的技术条件.系统论述了提出的超光滑表面抛光方法的基本原理及其抛光工艺过程.通过多次工艺实验,稳定地获得了埃量级的超光滑表面.最后,采用Hilbert-Huang变换(HHT)非线性平稳信号的时域分析法,通过超光滑表面粗糙度分布曲线到Hilbert谱的一系列数学变换,得出主要抛光工艺参数与表面粗糙度之间的影响关系,对实际加工工艺过程与抛光结果进行有效反馈和指导.基于HHT的超光滑表面抛光方法可以稳定地获得Ra优于0.35 nm的微晶玻璃超光滑表面,目前最好结果为Ra=0.3 nm.
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| 关 键 词： | 微晶玻璃 超光滑表面 粗糙度 定偏心浸液式抛光 Hilbert-Huang 变换(HHT) |
Supersmooth polishing of Zerodur based on HHT |
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| YANG Zhi-fu,YANG Hui,LI Cheng-gui,LIU Yi,FANG Jian-guo.Supersmooth polishing of Zerodur based on HHT[J].Optics and Precision Engineering,2008,16(1). |
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| Authors: | YANG Zhi-fu YANG Hui LI Cheng-gui LIU Yi FANG Jian-guo |
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