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| 氩气精制新工艺及其设备的研究取得突破——氩气纯度达到国际水平 | |
| 引用本文： | 范志成 ,陈雨田.氩气精制新工艺及其设备的研究取得突破——氩气纯度达到国际水平[J].稀有金属,1979(5). |
| 作者姓名： | 范志成 陈雨田 |
| 摘 要： | 高纯稀有气体(Ar、He等)广泛应用在原子能、半导体、稀有金属及特种钢冶炼、等离子体等技术领域,其中氩气精制工艺其净化器结构的研究更成为与各应用部门密切相关的问题。 目前国外高纯稀有气体的精制与循环回收工艺日趋完善,某些国家已能批量生产各种级别用于科研和生产的超高纯稀有气体,纯度达99.999— |
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