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| YAG激光扫描刻槽机 | |
| 引用本文： | 王又良,施亚玲,李树森,龚焕明,邵福根,葛海坤.YAG激光扫描刻槽机[J].应用激光,1990(3). |
| 作者姓名： | 王又良 施亚玲 李树森 龚焕明 邵福根 葛海坤 |
| 作者单位： | 上海市激光技术研究所，上海市激光技术研究所，上海市激光技术研究所，上海市激光技术研究所，上海无线电一厂，上海无线电一厂 |
| 摘 要： | 本文设计了一种新型扫描激光刻槽机。分析了刻槽机的激光扫描系统和机械传动系统。YAG激光刻槽机每分钟能刻20个电阻,扩阻率500～3000倍;槽宽50μm;阻值精度±0.5%(R<1mΩ),±1%(R>1MΩ)。 |
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