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| 基于飞秒激光的覆铜板刻蚀工艺 | |
| 引用本文： | 张晓,刘凯,王明娣,倪玉吉,潘煜,刘金聪,倪超,张文杰.基于飞秒激光的覆铜板刻蚀工艺[J].光学学报,2019,39(12):227-234. |
| 作者姓名： | 张晓 刘凯 王明娣 倪玉吉 潘煜 刘金聪 倪超 张文杰 |
| 作者单位： | 苏州大学机电工程学院,江苏苏州215021;苏州大学机电工程学院,江苏苏州215021;苏州大学机电工程学院,江苏苏州215021;苏州大学机电工程学院,江苏苏州215021;苏州大学机电工程学院,江苏苏州215021;苏州大学机电工程学院,江苏苏州215021;苏州大学机电工程学院,江苏苏州215021;苏州大学机电工程学院,江苏苏州215021 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;苏州市科技计划;科技计划 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 激光技术 飞秒激光 覆铜板 刻蚀 电路 |
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