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| 3英寸双面YBCO高温超导外延薄膜研究 | |
| 引用本文： | 陈家俊,陶伯万,邓新武,刘兴钊,李德红,张鹰,何世明,李言荣,羊恺,张其劭.3英寸双面YBCO高温超导外延薄膜研究[J].低温物理学报,2003,25(Z1):16-19. |
| 作者姓名： | 陈家俊 陶伯万 邓新武 刘兴钊 李德红 张鹰 何世明 李言荣 羊恺 张其劭 |
| 作者单位： | 电子科技大学,成都,610054 |
| 摘 要： | 本文采用倒筒直流溅射方法(ICS)结合基片变速双轴旋转方式原位生长Φ3英寸双面YBCO高温超导外延薄膜.膜厚分布最大偏差小于10%,薄膜样品的中心与边缘部分的Tc0均达到90K,ΔTc≤0.3K,FWHM(005)≈0.2°,Rs(10GHz,77K)≈0.8mΩ,Jc值分布在2.2～3.1MA*cm-2之间,表明样品均匀性良好. |
| 关 键 词： | 高温超导薄膜 YBCO 均匀性 |
DEPOSITION OF 3-INCH DOUBLE-SIDED YBCO HIGH-Tc SUPERCONDUCTING EPITAXIAL THIN FILMS |
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| Abstract: | |
| Keywords: | YBCO |
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