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| 碳热还原氮化制备氮化硅粉体反应条件研究 | |
| 引用本文： | 陈宏,穆柏春,李辉,郭学本.碳热还原氮化制备氮化硅粉体反应条件研究[J].粉末冶金技术,2010,28(1). |
| 作者姓名： | 陈宏 穆柏春 李辉 郭学本 |
| 作者单位： | 1. 辽宁工业大学材料与化学工程学院,辽宁锦州,121001;辽宁石化职业技术学院,辽宁锦州,121001 2. 辽宁工业大学材料与化学工程学院,辽宁锦州,121001 3. 辽宁石化职业技术学院,辽宁锦州,121001 |
| 基金项目： | 辽宁省自然科学基金资助项目(20062193,9910300401);;辽宁省教育厅科研基金项目(20031008);;辽宁省专利局资助项目 |
| 摘 要： | 对二氧化硅碳热还原氮化合成氮化硅的反应体系进行了热力学和动力学分析,主要研究了反应温度和氮气流量对Si3N4、Si2N2O和SiC生成的影响。热力学研究表明,Si3N4的生成需要足够高的温度(高于1800K)和充足的氮气气氛;Si2N2O的生成条件是较低的温度(低于1700K)和不充足的氮气气氛;SiC的生成条件是更高的温度(高于2000K)和不充足的氮气气氛。试验研究验证了热力学的分析,并确定了碳热还原氮化合成氮化硅的主要工艺条件(氮气流量为3L/min、煅烧温度为1500℃)。在以上工艺条件下,可制备出纯的Si3N4粉体。 |
| 关 键 词： | 碳热还原 氮化硅 氧氮化硅 碳化硅 粉体 |
Study of preparation conditions of Si_3N_4 powders by carbothermal reduction |
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| Chen Hong,Mu Baichun,Li Hui,Guo Xueben.Study of preparation conditions of Si_3N_4 powders by carbothermal reduction[J].Powder Metallurgy Technology,2010,28(1). | |
| Authors: | Chen Hong Mu Baichun Li Hui Guo Xueben |
| Affiliation: | Collegeof Material and Chemical Engineering;Liaoning University of Technology;Jinzhou Liaoning 121001;China;Liaoning Petrochemical Vocational and Technology College;China |
| Abstract: | The thermodynamics and kinetics of reaction system used in preparing silicon nitride powder by carbothermal reduction were analyzed.Effects of reaction temperature and nitrogen flow rate on the generation of Si3N4,Si2N2O and SiC powders were investigated.It shows that the conditions of preparation are high enough temperature(>1800K) and adequate nitrogen for Si3N4,lower temperature(<1700K) and not enough nitrogen for Si2N2O,higher temperature(>2000K) and not enough nitrogen for SiC.The thermodynamic analysi... |
| Keywords: | carbothermal reduction Si3N4 Si2N2O SiC powder |
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