| 多层梁机电耦合系统的等效电路宏模型 |
| |
| 引用本文： | 戎华,黄庆安,李伟华. 多层梁机电耦合系统的等效电路宏模型[J]. 微纳电子技术, 2003, 40(7): 44-47 |
| |
| 作者姓名： | 戎华 黄庆安 李伟华 |
| |
| 作者单位： | 东南大学MEMS教育部重点实验室,江苏,南京,210096 |
| |
| 摘 要： | 实现MEMS器件系统级模拟的关键是建立其宏模型。由单层梁构成的机电耦合系统的等效电路宏模型，已做过深入的研究，但实际的MEMS器件通常都是多层的．本文提出了一种基于力一电压(F-V)类比的、适用于由多层梁构成的机电耦合系统的等效电路宏模型，该模型可进行小信号时域和频域分析，能为多层梁机电耦合系统的设计带来很大的方便。模拟结果表明，该模型具有较高的精度。
|
| 关 键 词： | 微机电系统 多层梁 机电耦合系统 等效电路 宏模型 力-电压类比 |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)07/08-0044-04 |
| 修稿时间： | 2003-05-15 |
An equivalent circuit macromodel for a multi-layer beam electromechanical coupled system |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
