| 基于共光路干涉原理的精细表面粗糙度测量方法 |
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| 引用本文： | 张锡芳,王政平,王晓忠,张艳娥,王丽会.基于共光路干涉原理的精细表面粗糙度测量方法[J].光学与光电技术,2006,4(5):74-76,84. |
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| 作者姓名： | 张锡芳 王政平 王晓忠 张艳娥 王丽会 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工程大学理学院,哈尔滨,150001 |
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| 摘 要： | 提出了一种利用光的干涉原理测量光滑物体表面粗糙度的方法.该方法采用两光束共光路、同心聚焦扫描可实现表面粗糙度的绝对测量.使用一个半波片改变一路光束的偏振态,避免了传统测量系统中光路具有可逆性的问题,保证了系统的稳定性.使用一个l/4波片使接收端的光束偏振态方向一致,使干涉信号可见度最大.该系统光路结构简单,容易实现.对一标准量块进行了测量,并对光功率计分辨率对测量结果的影响进行了分析,结果表明本系统在实验室现有条件下可以测量轮廓算术平均偏差Ra为0.012μm的粗糙度量块.
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| 关 键 词： | 粗糙度 精细表面 琼斯矩阵 干涉 He-Ne激光器 |
| 文章编号： | 1672-3392（2006）05-0074-03 |
| 收稿时间： | 2006-05-20 |
| 修稿时间： | 2006-06-21 |
A Method of Measuring Roughness of Fine Surfaces Using Interferometry Principle of Co-Optical Paths |
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| ZHANG Xi-fang,WANG Zheng-ping,WANG Xiao-zhong,ZHANG Yan-e,WANG Li-hui.A Method of Measuring Roughness of Fine Surfaces Using Interferometry Principle of Co-Optical Paths[J].optics&optoelectronic technology,2006,4(5):74-76,84. |
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| Authors: | ZHANG Xi-fang WANG Zheng-ping WANG Xiao-zhong ZHANG Yan-e WANG Li-hui |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | surface roughness fine surfaces Jones matrix interferometry He-Ne laser |
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