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| 相位光栅自动对准技术研究 | |
| 引用本文： | 庞亚军.相位光栅自动对准技术研究[J].电子工业专用设备,1996,25(3):8-14. |
| 作者姓名： | 庞亚军 |
| 作者单位： | 电子工业部第四十五研究所 |
| 摘 要： | 阐述了相位光栅的成象原理，以及在分步曝光机关键技术自动对准上的应用，并对自动对准光路系统和电气控制系统进行了具体分析和研究。 |
| 关 键 词： | 相位光栅，空间滤波，调制解调，四象限 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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