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| 纳米多层膜中立方AlN外延生长的HRTEM观察 | |
| 作者姓名： | 田家万 劳技军 虞晓江 李戈扬 宁兆元 |
| 作者单位： | 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室 上海200030(田家万，劳技军，虞晓江)，上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室 上海200030(李戈扬)，苏州大学薄膜材料重点实验室 苏州大学薄膜材(宁兆元) |
| 摘 要： | 以亚稳态存在的立方ＡｌＮ具有很高的硬度、弹性模量、耐磨性、抗氧化性以及高温稳定性等优良的综合力学性能 ,是一种理想的硬质薄膜材料[1～ 3 ] 。ＡｌＮ通常以六方相存在 ,室温下转变为立方相需要高达 2 2 9ＧＰａ的压力 ,在 180 0Ｋ的温度时发生相变所需的压力也达到了 14到 16 5ＧＰａ[4] 。然而 ,在ＡｌＮ和另一立方结构组元如ＴｉＮ交替沉积形成的纳米多层膜中 ,ＡｌＮ在小的调制周期时可以通过外延生长形成立方结构 ,由此改善多层膜的力学性能[5] 。考虑到在ＴｉＮ调制层中加入Ａｌ可减小其与ＡｌＮ的错配度 ,有利于立方ＡｌＮ的… |
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