真空镀膜膜层厚度均匀性计算与工件架的设计

本文介绍了在真空镀膜中膜厚均匀度的理论计算和实际测量，并根据对膜厚均匀度的要求和作者多年的实践经验，提出了真空室内工件架的合理选择和最佳设计原则。