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| Ni扩散LiNbO3脊形波导MZ调制器的制作技术 | |
| 作者姓名： | 张瑞君 |
| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第44研究所,重庆400060 |
| 摘 要： | 最近几年，宽带光通信系统已成为开发热点，并大大促进了高速集成光学器件的研究与发展。LiNbO3电光调制器由于有带宽较宽、可抑制啁啾性能、波长独立性等优点，是宽带光通信系统必不可少的器件。目前LiNbO3调制器已取得很大进展，但由于LiNbO3具有高介电常数，使带宽受 |
| 关 键 词： | Ni扩散LiNbO3脊形波导 MZ调制器 湿法腐蚀 自对准 |
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