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| 一种新的非晶钝化膜a—Si_xC_(1-x)∶H膜 | |
| 引用本文： | 张仿清 ,王印月 ,姜永波 ,张亚非 ,陈光华.一种新的非晶钝化膜a—Si_xC_(1-x)∶H膜[J].兰州大学学报(自然科学版),1983(3). |
| 作者姓名： | 张仿清 王印月 姜永波 张亚非 陈光华 |
| 摘 要： | 本文介绍了一种新的钝化膜——a-Si_xC_(1-x)∶H薄膜在硅器件表面上的应用,实验结果表明:这种膜的钝化效果和a—Si∶H类似,在某些方面更好些,文中还对这种膜的钝化机理作了初步探讨。 |
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