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| Pyrex玻璃与Kovar合金阳极键合界面微观结构及其形成机制 | |
| 引用本文： | 刘翠荣,孟庆森,胡立方,胡敏英.Pyrex玻璃与Kovar合金阳极键合界面微观结构及其形成机制[J].焊接学报,2008,29(2):73-76. |
| 作者姓名： | 刘翠荣 孟庆森 胡立方 胡敏英 |
| 作者单位： | 1. 太原理工大学,材料学院,太原,030024;太原科技大学,材料学院,太原,030024 2. 太原理工大学,材料学院,太原,030024 3. 太原科技大学,材料学院,太原,030024 |
| 摘 要： | 在温度300～500 ℃、电压400～650 V、时间10～20 min的阳极键合工艺条件下,Pyrex玻璃与Kovar合金可实现快速连接;采用高分辨扫描电镜、超轻元素能谱仪、透射电镜及X射线衍射仪分析了接合区微观组织、微区化学成分、界面微区相结构等.结果表明,Pyrex玻璃与Kovar合金的结合过程分为三个阶段,即界面极化及静电吸附阶段,离子迁移及阳极氧化阶段,氧化物固相扩散结合及过渡区形成阶段;界面静电力及离子扩散迁移为界面结合的物理化学反应提供了必要条件;Pyrex玻璃与Kovar合金连接区由玻璃-过渡区-金属构成,过渡区的主要结构是尖晶石氧化物,其化学成分及致密度对接头强度具有较大影响. |
| 关 键 词： | 玻璃 可伐合金 阳极键合 连接界面 微观结构 |
| 文章编号： | 0253-360X（2008）02-0073-04 |
| 收稿时间： | 2007-03-26 |
| 修稿时间： | 2007年3月26日 |
Microstructure and bonding mechanism of anodic bonded interface between pyrex glass and kovar alloy |
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| LIU Cuirong,MENG Qingsen,HU Lifang and HU Minying.Microstructure and bonding mechanism of anodic bonded interface between pyrex glass and kovar alloy[J].Transactions of The China Welding Institution,2008,29(2):73-76. | |
| Authors: | LIU Cuirong MENG Qingsen HU Lifang and HU Minying |
| Affiliation: | School of Materials Science and Engineering, Taiyuan University of Technology, Taiyuan 030024, China;School of Materials Science and Engineering, Taiyuan University of Science and Technology, Taiyuan 030024, China,School of Materials Science and Engineering, Taiyuan University of Technology, Taiyuan 030024, China,School of Materials Science and Engineering, Taiyuan University of Technology, Taiyuan 030024, China and School of Materials Science and Engineering, Taiyuan University of Science and Technology, Taiyuan 030024, China |
| Abstract: | |
| Keywords: | Py rex glass Kovar alloy anodic bonding joined interface microstructure |
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