| 超薄多孔阳极氧化铝薄膜的制备和光学特性 |
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| 引用本文： | 高芬.超薄多孔阳极氧化铝薄膜的制备和光学特性[J].半导体光电,2008,29(5). |
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| 作者姓名： | 高芬 |
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| 作者单位： | 西安工业大学,光电工程学院,陕西,西安,710032 |
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| 摘 要： | 采用二步阳极氧化法在草酸溶液中制备了超薄的多孔阳极氧化铝(PAA)薄膜,借助于扫描电子显微镜(SEM)分析了多孔阳极氧化铝薄膜的微观形貌,发现在其表面孔径为70～90nm的六边形内孔洞分布均匀,且垂直于表面平行生长,厚度约为500 nm.对其光致发光性能研究发现,该薄膜具有一个位于395 nm的紫外波段的发光峰.分析表明,该发光现象起源于氧化铝薄膜中与氧空位相关的F 中心.透射率随着波长的增加先急剧增加,在波长大于300 nm时,透射率随着波长的增加缓慢减小;而吸收率随着波长的增加先急剧减小,在波长大于300 nm时,吸收率随着波长的增加缓慢增加.
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| 关 键 词： | 超薄多孔氧化铝 光致发光 透射光谱 吸收光谱 |
Preparation and Optical Properties of Ultrathin Porous Anodic Alumina Film |
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| GAO Fen.Preparation and Optical Properties of Ultrathin Porous Anodic Alumina Film[J].Semiconductor Optoelectronics,2008,29(5). |
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| Authors: | GAO Fen |
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