| MEMS矢量水听器减振结构的设计与研究 |
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| 引用本文： | 郭楠,张国军,简泽明,刘梦然,张文栋.MEMS矢量水听器减振结构的设计与研究[J].传感技术学报,2015,28(3):336-341. |
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| 作者姓名： | 郭楠 张国军 简泽明 刘梦然 张文栋 |
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| 作者单位： | 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室，太原030051; 中北大学电子测试技术重点实验室，太原030051 |
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| 基金项目： | 国家863项目，国家自然科学基金项目，国家自然科学基金项目 |
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| 摘 要： | 在MEMS矢量水听器现有结构的基础上，设计出一种新型减振结构，期望利用该封装结构衰减水听器工作时安装平台的振动噪声，削弱安装平台振动对水听器测量精度的影响，提高水听器的抗噪能力。结合理论分析确定减振材料并采用有限元软件进行仿真，对矢量水听器先后采用原有封装结构和减振封装结构进行封装，并通过振动台实验和驻波桶灵敏度测试。测试结果表明：该结构可有效实现对MEMS矢量水听器干扰信号的衰减，同时基本不影响水听器的接收灵敏度。
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| 关 键 词： | MEMS矢量水听器 减振 阻尼材料 损耗因数 封装结构 |
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