| 体硅加工微电极传感器研究 |
| |
| 引用本文： | 刘敬伟,边超,韩泾鸿,陈绍凤,白强,夏善红.体硅加工微电极传感器研究[J].仪器仪表学报,2004,25(Z3):144-147. |
| |
| 作者姓名： | 刘敬伟 边超 韩泾鸿 陈绍凤 白强 夏善红 |
| |
| 作者单位： | 1. 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080;中国科学院研究生院,北京,100039
2. 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(批准号90307014). |
| |
| 摘 要： | 应用新的体硅加工技术和新的电极表面修饰方法,提出了一种新型电流型微电极传感器.以与IC兼容的硅作为基底材料,利用体硅加工工艺,采用各向异性硅腐蚀及SU-8微反应池方法制成了新型体硅加工电极.同时,铂化并聚合被首次用来作电极表面修饰.以葡萄糖检测为例,使用吡咯作为聚合材料,新传感器与传统的电流型传感器相比,有较小的敏感面积(1mm×1mm)、较大的敏感系数(39.640nA.mM-1.mm-2)、较低的检测下限(1×10-4M)、较宽的检测范围(1×10-4～1×10-2M)、较好的重现性(五次测量的RSD为3.2%)与稳定性(温室保存一个月后活性保留95%以上)、以及易于与处理电路集成等优点.
|
| 关 键 词： | 传感器 电流型 微电极 体硅加工 微反应池 |
Research on Bulk Micro-machined Microelectrode Sensor |
| |
| Liu Jingwei,BIAN Chao,Han Jinghong,Chen Shaofeng,BAI Qiang,XIA Shanhong.Research on Bulk Micro-machined Microelectrode Sensor[J].Chinese Journal of Scientific Instrument,2004,25(Z3):144-147. |
| |
| Authors: | Liu Jingwei BIAN Chao Han Jinghong Chen Shaofeng BAI Qiang XIA Shanhong |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
