集成冷光学的双波段杜瓦组件技术 |
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引用本文: | 曾智江,杨力怡,郝振贻,徐琳,范广宇,范崔,李俊,李雪,龚海梅.集成冷光学的双波段杜瓦组件技术[J].中国激光,2023(23):237-245. |
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作者姓名: | 曾智江 杨力怡 郝振贻 徐琳 范广宇 范崔 李俊 李雪 龚海梅 |
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作者单位: | 1. 中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室;2. 中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室;3. 中国科学院大学 |
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基金项目: | 国家自然科学基金(11427901); |
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摘 要: | 集成冷光学的红外探测器杜瓦封装在中波、长波红外组件研制中具有重要意义,有利于抑制红外辐射背景、提升仪器灵敏度和集成度。提出了集成冷光学的中波、长波双波段探测器杜瓦组件,设计了一体化冷平台支撑、低漏热透镜支撑等新结构,解决了冷光学透镜组与探测器组合、双波段探测器透镜组之间高精度配准及高强度单点支撑钎焊等新工艺,建立了该冷光学集成组件杜瓦的冷面温度均匀性、双温区控制以及低热负载等关键参数。实现了杜瓦液氮热负载小于0.85 W,中波工作于73 K,冷面温度均匀性0.36 K,长波工作于65 K,冷面温度均匀性0.08 K,探测器与透镜组配准精度偏差优于±10μm,探测器光学模组间配准偏差优于±15μm。该新型杜瓦已通过一系列空间环境适应性试验验证,成功应用于风云四号系列气象卫星大气垂直探测仪中。
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关 键 词: | 光学设计 双波段红外探测器 杜瓦集成封装 冷光学 低温透镜组 高精度配准 |
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