| MEMS陀螺振动特性试验技术 |
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| 引用本文： | 迟晓珠,崔健,闫桂珍.MEMS陀螺振动特性试验技术[J].传感技术学报,2008,21(4):559-562. |
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| 作者姓名： | 迟晓珠 崔健 闫桂珍 |
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| 作者单位： | 北京大学微电子系微米/纳米加工技术国家重点实验室,北京,100871;北京大学微电子系微米/纳米加工技术国家重点实验室,北京,100871;北京大学微电子系微米/纳米加工技术国家重点实验室,北京,100871 |
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| 摘 要： | 对于MEMS振动陀螺来说,找到一个快速有效的方法来评估其结构参数是非常重要的,比如谐振频率和阻尼系数,应根据微机械陀螺设计和制作的不同阶段,从测试精度、测试速度和试验方便程度等方面考虑,采用不同的方法进行动态试验。本文给出了一种能够判断MEMS器件振动特性的可靠的电测试系统,并通过分析和实验比较了几种微机械陀螺振动系统传递函数的快速测定方法,分析讨论了微机械陀螺振动系统测试方法和数据处理等问题。
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| 关 键 词： | 微机械陀螺 振动特性 频响函数 |
| 文章编号： | 1004-1699(2008)04-0559-04 |
| 修稿时间： | 2007年9月30日 |
Electrical method to measure the dynamic behaviour of a MEMS gyroscope sensor |
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| Chi Xiaozhu,Cui,Jian Yan Guizhen.Electrical method to measure the dynamic behaviour of a MEMS gyroscope sensor[J].Journal of Transduction Technology,2008,21(4):559-562. |
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| Authors: | Chi Xiaozhu Cui Jian Yan Guizhen |
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| Affiliation: | Institute of Microelectronics, Peking University |
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| Abstract: | It is very important to find a rapid and efficient method to evaluate the parameter of the MEMS gyro.To testing the MEMS device's dynamic characterater,differente measures were used with regarding to precision,rapidity and convenience,etc.A reliable electric measure system to test the vibration performance of the MEMS device was proposed.Several testing schemes were compared via analysis and experiment,and the ways of testing and data processing were discussed respectively. |
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| Keywords: | MEMS gyroscope dynamic behaviour frequency response |
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