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QuartusⅡ6.0工具应对高密度设计难题
摘 要:
Akustica公司的设计师们称:AKU2000是首款CMOS MEMS直接数字输出、单芯片传声器。该公司从卡内基梅隆大学获得了该技术的使用许可(它相信此项技术得到了全面的专利保护),使其能够采用标准CMOS工艺的金属化层来制作MEMS,以形成构成传声器的传感元件的隔膜。由于该技
关 键 词:
电容传声器
MEMS
输出功能
CMOS工艺
器具
输出放大器
单芯片
数字输出
专利保护
本文献已被
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