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| 沟道刻蚀型a—SiTFT矩阵的制造工艺 | |
| 引用本文： | 王洪岩.沟道刻蚀型a—SiTFT矩阵的制造工艺[J].光电技术,2003,44(4):10-13. |
| 作者姓名： | 王洪岩 |
| 摘 要： | 沟道刻蚀型a-SiTFT是TFT的一种。本文介绍了沟道刻蚀型a-SiTFT矩阵的结构和原理．重点介绍了它的制造工艺。 |
| 关 键 词： | 沟道刻蚀型a-SiTFT矩阵 制造工艺 平板显示器件 TFT-LCD结构 成膜方法 |
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