| 硅酸镓镧晶体声表面波压力敏感特性研究 |
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| 引用本文： | 吉小军,施文康,韩韬,张国伟.硅酸镓镧晶体声表面波压力敏感特性研究[J].上海交通大学学报,2005,39(7):1136-1139. |
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| 作者姓名： | 吉小军 施文康 韩韬 张国伟 |
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| 作者单位： | 上海交通大学,信息检测技术与仪器系,上海,200030 |
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| 摘 要： | 针对采用新型压电材料硅酸镓镧(LGS)研制声表面波高温压力传感器的需要,利用微扰理论对LGS在双旋转平面内的压力敏感特性进行了理论分析,以等高线的形式给出了LGS在二维旋转平面内的压力对敏感系数.结合温度及机电耦合特性,优化出了适合压力传感器的切向范围,并对欧拉角为(0,150°,22°)的切向基片的压力敏感特性进行了实验研究.验证了谐振频率的变化与外界压力成线性关系,且理论与实验结果趋势基本一致.
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| 关 键 词： | 硅酸镓镧 压力传感器 微扰理论 压力敏感切向 |
| 文章编号： | 1006-2467(2005)07-1136-04 |
| 收稿时间： | 2004-07-18 |
| 修稿时间： | 2004年7月18日 |
Study on the Pressure Sensitive Characteristics of New Piezoelectric Crystal La3Ga5SiO14 |
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| JI Xiao-jun,SHI Wen-kang,HAN Tao,ZHANG Guo-wei.Study on the Pressure Sensitive Characteristics of New Piezoelectric Crystal La3Ga5SiO14[J].Journal of Shanghai Jiaotong University,2005,39(7):1136-1139. |
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| Authors: | JI Xiao-jun SHI Wen-kang HAN Tao ZHANG Guo-wei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | La_3Ga_5SiO_(14)(LGS) pressure micro-sensor perturbation theory sensitive cuts for pressure |
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