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TiN/AlN复合陶瓷的电性能
引用本文:朱江,李晨辉,刘凯,等.TiN/AlN复合陶瓷的电性能[J].半导体技术,2014(3):204-209.
作者姓名:朱江  李晨辉  刘凯  
作者单位:华中科技大学材料成形与模具技术国家重点实验室;中国钢研科技集团有限公司;
基金项目:国家重大科技专项资助项目(2013ZX02104001)
摘    要:以AlN粉为原料,TiN粉为调节剂,添加稀土金属(Sm2O3,Y2O3,)烧结助剂在N2气氛下,采用放电等离子烧结技术在1 700℃,25 MPa下保温10 min制备了相对密度高于98%的AlN陶瓷。引入导电相TiN对AlN陶瓷电性能进行改性,AlN复合陶瓷的相对密度随着TiN含量的增加而有所下降,电阻率出现明显的导电渗流现象,渗流阀值出现在质量分数为26%左右。通过X射线衍射、扫描电镜和X射线光电子能谱分析可知:AlN烧结体含有主晶相AlN、第二相稀土金属铝酸盐和间隙相TiN,一般认为,低熔点的稀土金属铝酸盐促进了AlN陶瓷的烧结致密化,导电相TiN提供了导电的自由电子致使陶瓷体的电性能降低。

关 键 词:氮化铝陶瓷  氮化钛  ReO  电性能调节剂  体积电阻率
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