| 大视场白光干涉测量系统及性能研究 |
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| 引用本文： | 刘涛,王智彬,胡佳琪,何耀楠,景炜昌,陈恩静,周文龙,于国明,杨宁,赵迪,张国锋,杨树明.大视场白光干涉测量系统及性能研究[J].光子学报,2024(1):136-148. |
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| 作者姓名： | 刘涛 王智彬 胡佳琪 何耀楠 景炜昌 陈恩静 周文龙 于国明 杨宁 赵迪 张国锋 杨树明 |
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| 作者单位： | 1. 西安交通大学机械工程学院;2. 西安恩科微纳光电科技有限公司;3. 麦克奥迪实业集团有限公司;4. 陕西省计量科学研究院国家市场监管重点实验室(计量光学及应用) |
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| 基金项目： | 国家重点研发计划（No.2023YFE0203800）；;陕西省重点研发计划（Nos.2021ZDLGY12-06,2021KY04）；;国家自然科学基金（No.52305584）~~； |
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| 摘 要： | 基于国产化的2倍迈克尔逊型干涉物镜组，优选配置0.5倍适配镜，对白光LED照明光源进行带通滤波参数的仿真估算和实验性能比较，构建了整套大视场白光干涉精密测量装置系统并进行了实验测试，通过白光干涉轴向响应实验曲线确定了中心波长。实验结果表明：通过光谱滤波获得了较为理想的白光干涉轴向响应曲线；系统的水平最大视场达到了14 mm；高度为2.04μm和20.43μm的标准台阶样品的测量结果分别为2.05μm和20.47μm,10次测量重复精度（标准差）分别为12 nm和16 nm。对粗糙度样板、微机电系统传感结构和半导体晶圆膜层进行了实测，表明所研制的系统装置在三维光学无损精密检测领域的应用具有可行性。
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| 关 键 词： | 白光干涉 三维测量 大视场 滤波 半导体检测 |
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