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碳化硅CMOS反相器的特性
引用本文:姬慧莲,杨银堂,郭中和,柴常春,李跃进. 碳化硅CMOS反相器的特性[J]. 半导体学报, 2004, 25(3)
作者姓名:姬慧莲  杨银堂  郭中和  柴常春  李跃进
作者单位:西安电子科技大学微电子研究所,西安,710071
摘    要:建立了6H-SiC CMOS反相器的电路结构和物理模型,并利用MEDICI软件对其特性进行了模拟.研究了SiC CMOS反相器的温度特性,结果表明,室温下沟道长度为1.5μm的6H-SiC CMOS反相器的阈值电压、高电平噪声容限和低电平噪声容限分别为1.657,3.156和1.470V,且随着温度的升高而减小.

关 键 词:碳化硅  反相器  模拟

Properties of SiC CMOS Inverter
Abstract:
Keywords:
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