| 直接加热终端式MEMS微波功率传感器的设计与模拟 |
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| 引用本文： | 陈宁娟,廖小平.直接加热终端式MEMS微波功率传感器的设计与模拟[J].中国机械工程,2005,16(Z1):313-314. |
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| 作者姓名： | 陈宁娟 廖小平 |
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| 作者单位： | 东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096 |
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| 摘 要： | 提出了一种基于GaAs MMIC工艺的MEMS微波功率传感器.根据热电效应设计了一个X波段热偶微波功率传感器的结构,并对其温度分布用COVENTOR系统软件进行模拟,用HFSS对反射系数进行模拟.输入功率0～50mW,灵敏度为0.3V/W.S11约为-15db.
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| 关 键 词： | MEMS 微波功率 热偶 砷化镓 |
| 文章编号： | 1004-132X(2005)S1-0313-02 |
| 修稿时间： | 2005年3月30日 |
Design and Simulation of Directly Heated Terminated MEMS Microwave Power Sensor |
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| Chen Ningjuan,Liao Xiaoping.Design and Simulation of Directly Heated Terminated MEMS Microwave Power Sensor[J].China Mechanical Engineering,2005,16(Z1):313-314. |
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| Authors: | Chen Ningjuan Liao Xiaoping |
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| Abstract: | |
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