| 双波段激光防护红外减反膜的研制 |
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| 引用本文： | 石澎,付秀华,孙岩,魏孜洵,梅禹珊. 双波段激光防护红外减反膜的研制[J]. 中国激光, 2011, 0(4) |
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| 作者姓名： | 石澎 付秀华 孙岩 魏孜洵 梅禹珊 |
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| 作者单位： | 长春理工大学光电工程学院;中山火炬职业技术学院光电工程系; |
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| 基金项目： | 吉林省科技发展计划(20086012)资助课题 |
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| 摘 要： | 针对军用光电仪器对激光致盲武器的防护要求,选取Si和YbF3,ZnS和YbF3两种高低折射率组合形式研制了激光防护减反膜。在多光谱ZnS基底上,采用电子束及离子辅助沉积技术,制备了能够对532 nm和1064 nm激光进行有效防护,同时对3~5μm的波段具有高透射率的薄膜。对Si膜的电子束沉积工艺进行了研究;对YbF3在不同的材料组合中的沉积工艺进行了优化;解决了膜层与基底之间的粘附性问题。该薄膜集探测用减反器件和防护器件于一体,可以使星载、机载等光电仪器的结构得到简化;光谱分析和环境测试的结果表明,各项指标满足使用要求。
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| 关 键 词： | 薄膜 激光防护 离子辅助沉积 红外减反膜 |
Design and Fabrication of Double Wavelength Laser Protective Infrared Antireflection Coatings |
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| Shi Peng, Fu Xiuhua Sun Yan Wei Zixun Mei YushanCollege of Opto-Electronic Engineering,Changchun University of Science , Technology,Changchun,Jilin ,China. Design and Fabrication of Double Wavelength Laser Protective Infrared Antireflection Coatings[J]. Chinese Journal of Lasers, 2011, 0(4) |
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| Authors: | Shi Peng Fu Xiuhua Sun Yan Wei Zixun Mei YushanCollege of Opto-Electronic Engineering Changchun University of Science Technology Changchun Jilin China |
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| Affiliation: | Shi Peng1,2 Fu Xiuhua1 Sun Yan1 Wei Zixun1 Mei Yushan11College of Opto-Electronic Engineering,Changchun University of Science and Technology,Changchun,Jilin 130022,China2Department of Opto-Electronic Engineering,Zhongshan Torch Polytechnic,Zhongshan,Guangdong 528436,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | thin films laser protection ion assisted deposition infrared antireflection coating |
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