| 金属网格对制备TiO2薄膜及其光学特征的影响 |
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| 引用本文： | 程春晓,陈林峰,张永胜.金属网格对制备TiO2薄膜及其光学特征的影响[J].真空,2009,46(3). |
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| 作者姓名： | 程春晓 陈林峰 张永胜 |
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| 作者单位： | 洛阳理工学院数理系,河南,洛阳,471023 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，河南省自然科学基金，河南省高校科技创新人才支持计划 |
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| 摘 要： | 使用直流磁控溅射装置,通过在溅射过程中加入不同的金属网格,300 ℃条件下在玻璃衬底上制备了不同晶粒尺寸的TiO2薄膜.利用X射线衍射谱(XRD)、场发射扫描电子显微镜(SEM)对薄膜的结构和表面形貌进行了分析,并使用紫外一可见分光光度计研究了TiO2薄膜的透射和吸收光谱.研究结果表明:金属网格在磁控溅射过程中能有效减小TiO2薄膜的晶粒尺寸,金属网格的网孔尺寸越小,晶粒尺寸越小,吸收边蓝移越明显.
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| 关 键 词： | TiO2薄膜 直流磁控溅射 网格 晶粒尺寸 |
Effect of metal mesh grid on preparation of TiO2 thin films and their optical properties |
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| CHENG Chun-xiao,CHEN Lin-feng,ZHANG Yong-sheng.Effect of metal mesh grid on preparation of TiO2 thin films and their optical properties[J].Vacuum,2009,46(3). |
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| Authors: | CHENG Chun-xiao CHEN Lin-feng ZHANG Yong-sheng |
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