| 新型MEMS三维振动传感器的有限元分析 |
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| 引用本文： | 李振,吴淑娟,张国军,薛晨阳.新型MEMS三维振动传感器的有限元分析[J].传感技术学报,2013,26(4):502-508. |
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| 作者姓名： | 李振 吴淑娟 张国军 薛晨阳 |
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| 作者单位： | 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室;中北大学电子测试技术重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家863计划项目(2011AA040404);国家自然科学基金资助青年科学基金项目(51205374);国家自然科学基金资助专项基金项目(61127008) |
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| 摘 要： | 针对目前多维振动传感器的需求,研制了一种基于MEMS技术的仿昆虫纤毛三维振动传感器。首先,介绍了振动传感器的仿生机理和工作原理;然后,推导了振动传感器的力学模型并建立了有限元模型;最后,对该传感器进行了静、动态特性分析,并通过实验验证最终得出该传感器的灵敏度为274.18μV/gn、维间耦合小于等于0.612 5%、测量范围为±25 gn、共振频率为2 342.6 Hz、抗冲击能力为100 gn。
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| 关 键 词： | 振动传感器 MEMS 有限元法 三维 仿生 |
Finite Element Analysis for A New Kind of MEMS Three-Dimensional Vibration Sensor |
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| LI Zhen,WU Shujuan,ZHANG Guojun,XUE Chenyang.Finite Element Analysis for A New Kind of MEMS Three-Dimensional Vibration Sensor[J].Journal of Transduction Technology,2013,26(4):502-508. |
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| Authors: | LI Zhen WU Shujuan ZHANG Guojun XUE Chenyang |
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| Affiliation: | 1,2(1.Key Laboratory of Instrumentation Science & Dynamic Measurement,Ministry of Education,Taiyuan 030051,China; 2.Science and Technology on Electronic Test & Measurement Laboratory North University of China,Taiyuan 030051,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | vibration sensor MEMS finite element method three-demension bionic |
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